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半导体光伏行业

在CZ直拉单晶硅石墨热场中通常会用到高纯度等静压石墨；如保温罩，加热器，三瓣石墨锅，锅托，导流筒，石墨电极，电极螺母等。
用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟，电极座，石墨螺丝，石墨螺帽。
用于硅外延设备，表面SIC涂层的立式，盘式，单片式石墨基座，MOCVD制程用SIC涂层石墨基座。
离子注入用石墨电极，衬块，石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具，高等级模板，冶具。
感应加热锗氧化物，区熔半导体材料，熔化高纯度金属的石墨坩埚，石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器，保温罩等。
蓝宝石HEM法生产中使用的高纯度石墨加热器，石墨电极。
技术参数指标如下：

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